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김태곤 한양대학교 에리카, 스마트융합공학부 교수 ASML코리아 젊은 과학자상 수상 Hit 1883
  • 등록일 2019-08-27 11:27:50

“EUV 경제성 높일 건식 레이저 마스크 세정 공정 기술”

  한주엽 기자 승인 2019.08.25 19:48

 

김태곤 한양대학교 에리카, 스마트융합공학부 교수 ASML코리아 젊은 과학자상 수상

  
   김태곤 한양대학교 에리카   
      스마트융합공학부 교수

 

김태곤 한양대학교 에리카 스마트융합공학부 교수가 극자외선(EUV) 마스크(Mask) 및 펠리클(Pellicle) 세정 공정 기술 개발 연구에 대한 성과를 인정받아 23일 인천 송도에서 개최된 ASML코리아 테크토크에서 ‘젊은 과학자’ 상을 수상했다.

 

기사 원문 : http://www.thelec.kr/news/articleView.html?idxno=2752


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